普华 UPS 服务半导体工厂，满足芯片制造精密供电需求

某半导体企业新建 12 英寸晶圆厂引入普华低谐波 UPS 解决方案，为光刻、蚀刻、沉积等核心生产设备提供高稳定供电，助力提升芯片制造良率。半导体芯片制造对供电质量要求*为苛刻，电压波动、谐波干扰都可能导致芯片缺陷，造成巨大损失。普华提供的低谐波 UPS 产品输入总谐波失真（THD）小于 2%，输出电压精度控制在 ±0.3% 以内，电压纹波小于 100mV，可提供纯净、稳定的电力供应，有效避免供电问题对芯片制造的影响。产品采用模块化设计，支持在线扩容与热插拔维护，可根据工厂产能扩张灵活升*，同时具备智能电池管理功能，延长电池使用寿命。方案接入工厂 MES 系统，实现设备状态与生产系统的协同联动，当供电系统出现异常时，可及时通知生产部门采取应对措施。目前该方案已在晶圆厂核心生产车间落地应用，经实测，供电稳定性显著提升，芯片良率较之前提高 2 个百分点，为半导体制造企业创造了可观的经济效益。